產(chǎn)品名稱:S3022F國(guó)產(chǎn)2通道源表
產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2025-11-14
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
S3022F國(guó)產(chǎn)2通道源表,電壓范圍100nV到200V,電流范圍100fA到3A,其中脈沖可以到10A,最大輸出功率30W,最大采樣率1MS/s
“精"——上海市先JIN企業(yè)!
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S3022F國(guó)產(chǎn)2通道源表,2通道,電壓范圍±100nV到±200V,電流范圍100fA到±3A,其中脈沖可以到±10A,最大輸出功率30W,最大采樣率1MS/s。
電壓源指標(biāo)
電壓設(shè)置精度 | 量程 | 設(shè)置分辨率 | 精度(1 年)±(%讀數(shù)+ 偏置) | 典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10 Hz |
±200 V | 1 mV | 0.02%+30 mV | 1.5 mV | |
±20 V | 100 μV | 0.02%+2 mV | 160 μV | |
±6 V | 50 μV | 0.02%+500 μV | 36 μV | |
±200 mV | 1 μV | 0.02%+120 μV | 4 μV | |
溫度系數(shù) | ±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | |||
單通道最大輸出功率 | 30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A | |||
設(shè)置時(shí)間 | <800μs(典型值) | |||
過沖 | <±0.1% (典型值,Normal,步進(jìn)是范圍的 10% 至 90%,滿量程點(diǎn),電阻性負(fù)載測(cè)試) | |||
噪聲 10Hz-20MHz | 6V 電壓源,3A 電阻負(fù)載,<3 mVrms | |||
[1]精度計(jì)算示例:測(cè)試200mV量程120mV輸出的精度,則允差為:
[2]本儀表有潛在的危險(xiǎn)高壓(±210 V)輸出到HI /Sense HI/Guard端子,為防止電擊,在開機(jī)前必須做好相關(guān)的安全防范措施。請(qǐng)勿將Guard端子接到任何輸出,包括短接到機(jī)箱地或是輸出LO,否則會(huì)損壞儀表
電流源指標(biāo)
電流設(shè)置精度 | 量程 | 設(shè)置分辨率 | 精度(1 年)±(% 讀數(shù)+偏置) | 典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10 Hz |
±10 A1 | 50 μA | 0.4% + 40 mA | NA | |
±3 A | 15 μA | 0.05% + 2 mA | 40 μA | |
±1.5 A | 10 μA | 0.02% + 500 μA | 20 μA | |
±150 mA | 1 μA | 0.02% + 25 μA | 5 μA | |
±15 mA | 100 nA | 0.02% + 6 μA | 700 nA | |
±1.5 mA | 10 nA | 0.02% + 250 nA | 16 nA | |
±150 μA | 1 nA | 0.02% + 25 nA | 21 nA | |
±15 μA | 100 pA | 0.02% + 3 nA | 140 pA | |
±1.5 μA | 10 pA | 0.03% + 450 pA | 25 pA | |
±150 nA | 1 pA | 0.05%+250 pA | 5 pA | |
溫度系數(shù) | ±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | |||
單通道最大輸出功率 | 30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A | |||
設(shè)置時(shí)間 | <500 μs(典型值) | |||
過沖 | <±0.1% (典型值,Normal,步進(jìn)是范圍的 10% 至 90%,滿量程點(diǎn),電阻性負(fù)載測(cè)試) | |||
1、10A 量程僅支持脈沖模式, 精度為典型值
電壓表指標(biāo)
電壓測(cè)量精度 | 量程 | 顯示分辨率 | 精度(1 年) ±(% 讀數(shù)+偏置) |
±200 V | 100 μV | 0.02% + 30 mV | |
±20 V | 10 μV | 0.02% + 2 mV | |
±6 V | 1 μV | 0.02% + 500 μV | |
±200 mV | 100 nV | 0.02% + 120 μV | |
溫度系數(shù) | ±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
電流表指標(biāo)
電流測(cè)量精度 | 量程 | 顯示分辨率 | 精度(1 年) ±(% 讀數(shù)+偏置) |
±10 A1 | 10 μA | 0.4% + 25 mA | |
±3 A | 10 μA | 0.05% + 2 mA | |
±1.5 A | 1 μA | 0.02% + 500 μA | |
±150 mA | 100 nA | 0.02% + 25 μA | |
±15 mA | 10 nA | 0.02% + 6 μA | |
±1.5 mA | 1 nA | 0.02% + 250 nA | |
±150 μA | 100 pA | 0.02% + 25 nA | |
±15 μA | 10 pA | 0.02% + 3 nA | |
±1.5 μA2 | 1 pA | 0.03% + 450 pA | |
±150 nA2 | 100 fA | 0.05% + 250 pA | |
溫度系數(shù) | ±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
1、10A量程僅支持脈沖模式,精度為典型值
2、小電流測(cè)量,建議使用三同軸線纜連接:ForceHi接芯線,Guard接內(nèi)屏蔽層,外屏蔽層接保護(hù)地,F(xiàn)orceLo接芯線,內(nèi)屏蔽層不接,外屏蔽層接保護(hù)地,同軸線的額定絕緣電壓不小于250V。
電阻表指標(biāo)(4 線)
量程 | 顯示分辨率 | 默認(rèn)測(cè)量電流 | 典型精度(1 年)±(% 讀數(shù)+偏置) |
1 Ω | 1 μΩ | 1.5 A | 0.073% +0.3334 mΩ |
10 Ω | 10 μΩ | 150 mA | 0.057% + 3.334 mΩ |
100 Ω | 100 μΩ | 15 mA | 0.08% + 33.34 mΩ |
1 kΩ | 1 mΩ | 1.5 mA | 0.057% + 333. 4 mΩ |
10 kΩ | 10 mΩ | 150 μA | 0.057% + 3.334 Ω |
100 kΩ | 100 mΩ | 15 μA | 0.06% + 33.34 Ω |
1 MΩ | 1 Ω | 1.5 μA | 0.06% + 333.4 Ω |
10 MΩ | 10 Ω | 0.15 μA | 0.35% + 3.334 kΩ |
100 MΩ | 100 Ω | 0.05 μA | 0.95% + 10 kΩ |
溫度系數(shù) | ±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃) | ||
手動(dòng)電流源電阻測(cè)量(四線) | 總體誤差=測(cè)量電壓/電流源設(shè)定電流=電阻讀數(shù)x(電壓源量程的增益誤差百分比+電流表量程的增益誤差百分比+電流源量程偏置誤差/設(shè)定電流)+(電壓源量程偏置誤差/設(shè)定電流值) 示例:電流源設(shè)定電流=1.5A 電壓測(cè)量量程=6V 總體誤差=(0.02%+0.02%+500μA/1.5A)+(500μV/1.5A) 0.073%+0.3334mΩ | ||
脈沖源指標(biāo)(4線)
最小可編程脈寬 | 100 μs |
脈寬編程分辨率 | 1 μs |
脈寬編程精度 | ±10 μs |
脈寬抖動(dòng) | 2 μs |
脈沖寬度定義 | 如下圖所示,從 10 % 前沿到 90 % 后沿的時(shí)間 |
脈沖技術(shù)指標(biāo) | 最大電流限制 | 最大脈沖寬度 | 最大占空比 |
1 | 0.15 A/200 V | DC,無限制 | 100% |
2 | 1.5 A/20 V | DC,無限制 | 100% |
3 | 3 A/6 V | DC,無限制 | 100% |
4 | 3 A/20 V | 1 ms | 10% |
5 | 10 A/6 V | 1 ms | 10% |
脈沖源上升時(shí)間(4 線)
輸出 | 量程 | 典型上升時(shí)間 1,3 | 典型穩(wěn)定時(shí)間 2,3 | 測(cè)試負(fù)載 |
電壓源 | 200 V | 600 μs | 1.5 ms | 空載 |
20 V | 200 μs | 360 μs | 空載 | |
6 V | 160 μs | 300 μs | 空載 | |
電流源 | 10 A | 140 μs | 320 μs | 滿載 |
3 A | 120 μs | 280 μs | 滿載 | |
1.5 A | 120 μs | 280 μs | 滿載 | |
150 mA | 120 μs | 280 μs | 滿載 | |
15 mA | 120 μS | 280 μs | 滿載 | |
1.5 mA | 120 μS | 280 μs | 滿載 |
1, 脈沖前沿從 10%到 90% 所需的時(shí)間。
2, 脈沖達(dá)到距離最終值 1%的所需的時(shí)間。
3, 電流源測(cè)試基于 6V 電壓量程下測(cè)試,105%滿量程鉗位設(shè)定。
輸出建立時(shí)間
輸出 | 量程 | 典型輸出建立時(shí)間 | 測(cè)試條件 | ||
Fast 1,2 | Normal 1 | Slow1 | |||
電壓源 | 200 V | <1.3 ms | <1.5 ms | <2.5 ms | 在開路負(fù)載條件下,達(dá)到距離最終值 0.1% 以內(nèi)所需的時(shí)間。 步進(jìn)是范圍 10% 至90%。 |
20 V | <300 μs | <360 μs | <1 ms | ||
6 V | <150 μs | <250 μs | <1 ms | ||
200 mV | <200 μs | <250 μs | <1 ms | ||
電流源 | 3 A | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | 滿載條件下,達(dá)到距離最終值0.1%以內(nèi)(對(duì)于3A范圍,為0.3%)所需的時(shí)間。 步進(jìn)是范圍的10%至90%。6V電壓量程,105%滿量程鉗位設(shè)定。 |
1.5 A | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
150 mA | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
15 mA | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
1.5 mA | <200 μs | <280 μs | <1.2 ms | ||
150 μA | <250 μs | <300 μs | <1.2 ms | ||
15 μA | <250 μs | <1.2 ms | <2 ms | ||
1.5 μA | <600 μs | <1.2 ms | <5 ms | ||
150 nA | <600 μs | <5 ms | <12 ms | ||
1、輸出轉(zhuǎn)換速率:Fast,Normal,Slow。
2、Fast 模式在不同的量程或負(fù)載條件下輸出可能會(huì)出現(xiàn)較大過沖,過沖敏感設(shè)備建議用 Slow 模式。
1 產(chǎn)品描述
S3022F國(guó)產(chǎn)2通道源表/測(cè)量單元是結(jié)構(gòu)緊湊、經(jīng)濟(jì)高效的臺(tái)式電源/測(cè)量單元(SMU),能夠同時(shí)輸出并測(cè)量電壓和電流。這些功能使得S3022F成為既需要高分辨率,又需要高精度的各種 IV(電流與電壓)測(cè)量任務(wù)的理想選擇。S3022F 以適中的價(jià)格提供優(yōu)異的性能。它擁有寬泛的電壓源(±200V)和電流源(±3A 直流和±10A 脈沖)功能,出色的精度,6位半的顯示(100fA/100nV顯示分辨率)以及彩色LCD圖形用戶界面(GUI)。
2 產(chǎn)品特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
量程
大電壓大電流量程:±200V、±3A(直流)、±10A(脈沖),單臺(tái) SMU 產(chǎn)品即可同時(shí)滿足高電壓和大電流測(cè)量需求, 從而推動(dòng)測(cè)量?jī)x器的標(biāo)準(zhǔn)化,并簡(jiǎn)化資產(chǎn)管理和支持工作。
最小測(cè)量分辨率
最小測(cè)量分辨率可達(dá)100fA/100nV,可以使用低成本的臺(tái)式 SMU 進(jìn)行低電平測(cè)量,而以前則需要使用昂貴的半導(dǎo)體器件分析儀。
高速測(cè)量
最高可支持1MS/s的ADC采樣率,NPLC和采樣率可選。
傳感模式
支持2線或4線(遠(yuǎn)程傳感)連接;最大傳感引線電阻:1 kΩ(額定精度);遠(yuǎn)程傳感輸出端與傳感端最大電壓:2V
SWEEP模式
支持單邊和雙邊的線性,對(duì)數(shù),列表掃描。間隔從1μs至16s可配置,單次掃描最大64K點(diǎn)
雙邊對(duì)數(shù)掃描
自動(dòng)量程
支持單點(diǎn),掃描自動(dòng)量程。過沖敏感設(shè)備建議切換量程前關(guān)閉輸出再做量程切換動(dòng)作。
延時(shí)測(cè)量
支持延時(shí)測(cè)量,建議用戶設(shè)置合適的SOURCE DELAY以獲得更準(zhǔn)確的測(cè)量值。
Source Delay 設(shè)置示意圖
注意:Source delay 必須大于源建立的時(shí)間,當(dāng)采樣值不準(zhǔn),需要考電Source delay是否合理,特別是小電流最程。
保護(hù)
支持過溫保護(hù),當(dāng)檢測(cè)到內(nèi)部溫度過高時(shí),輸出關(guān)閉,待溫度回到65度以下會(huì)恢復(fù)操作使用;
當(dāng)輸出超出 OVP 設(shè)定值時(shí)關(guān)閉輸出,設(shè)備重置后可進(jìn)一步操作,精度:±(1%Setting+500mV)
支持傳統(tǒng)和默認(rèn)的 SCPI 命令
支持傳統(tǒng)的 SCPI 命令,并可以部分兼容較舊的 SMU 代碼(例如 Keithley 2400系列),從而盡量減少代碼轉(zhuǎn)換工作。
5.0 英寸彩色LCD電容觸摸屏
采用5.0英寸彩色LCD電容觸摸屏,提供了簡(jiǎn)單易用的前面板GUI,可快速輕松地在前面板上進(jìn)行測(cè)量和顯示數(shù)據(jù),顯著加速交互式測(cè)試、表征和調(diào)試操作。
軟件功能
GUI非常直觀和簡(jiǎn)潔,無需編程即可從 PC 進(jìn)行遠(yuǎn)程測(cè)量和控制。
電源
電壓范圍:100-240VAC,頻率范圍:50/60Hz,
最大功率:250W ,保險(xiǎn)絲規(guī)格:T3.15AH 250 VAC
預(yù)熱 1 小時(shí)
尺寸(mm) 429*441*112(含腳墊、把手及旋鈕)
重量 凈重 8 kg
標(biāo)準(zhǔn)出廠附件:電源線,USB線,網(wǎng)線,紅色測(cè)試線,黑色測(cè)試線,U盤(包括PDF手冊(cè)、快速測(cè)量軟件和驅(qū)動(dòng)程序)。
一、三象限為源:輸出V/I的實(shí)際極性跟隨源設(shè)定;
二、四象限為負(fù)載:CC和CV配合,當(dāng)負(fù)載用時(shí),負(fù)載設(shè)定極性與源極性相反;
可測(cè)試各種設(shè)備

捕獲更多的測(cè)量數(shù)據(jù)
? 6 位半的數(shù)字分辨率: 精度相當(dāng)于6 位半數(shù)字萬(wàn)用表;
? 100 fA / 100 nV分辨率: 設(shè)置與測(cè)量靈敏度;
? 1M點(diǎn)/秒: 提供高速測(cè)量,可以快速設(shè)置/數(shù)字化率于任意波形發(fā)生器/列表掃描;

豐富的掃描功能

S3022F兩通道源表雙通道精密源表
電壓源指標(biāo)
電壓設(shè)置精度
量程設(shè)置分辨率精度(1 年)±(%讀數(shù)+ 偏置)典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10 Hz
±200 V1 mV0.02%+30 mV1.5 mV
±20 V100 μV0.02%+2 mV160 μV
±6 V50 μV0.02%+500 μV36 μV
±200 mV1 μV0.02%+120 μV4 μV
溫度系數(shù)±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
單通道最大輸出功率30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
設(shè)置時(shí)間<800μs(典型值)
過沖<±0.1% (典型值,Normal,步進(jìn)是范圍的 10% 至 90%,滿量程點(diǎn),電阻性負(fù)載測(cè)試)
噪聲 10Hz-20MHz6V 電壓源,3A 電阻負(fù)載,<3 mVrms
[1]精度計(jì)算示例:測(cè)試200mV量程120mV輸出的精度,則允差為:
[2]本儀表有潛在的危險(xiǎn)高壓(±210 V)輸出到HI /Sense HI/Guard端子,為防止電擊,在開機(jī)前必須做好相關(guān)的安全防范措施。請(qǐng)勿將Guard端子接到任何輸出,包括短接到機(jī)箱地或是輸出LO,否則會(huì)損壞儀表
電流源指標(biāo)
電流設(shè)置精度
量程設(shè)置分辨率精度(1 年)±(% 讀數(shù)+偏置)典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10 Hz
±10 A150 μA0.4% + 40 mANA
±3 A15 μA0.05% + 2 mA40 μA
±1.5 A10 μA0.02% + 500 μA20 μA
±150 mA1 μA0.02% + 25 μA5 μA
±15 mA100 nA0.02% + 6 μA700 nA
±1.5 mA10 nA0.02% + 250 nA16 nA
±150 μA1 nA0.02% + 25 nA21 nA
±15 μA100 pA0.02% + 3 nA140 pA
±1.5 μA10 pA0.03% + 450 pA25 pA
±150 nA1 pA0.05%+250 pA5 pA
溫度系數(shù)±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
單通道最大輸出功率30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
設(shè)置時(shí)間<500 μs(典型值)
過沖<±0.1% (典型值,Normal,步進(jìn)是范圍的 10% 至 90%,滿量程點(diǎn),電阻性負(fù)載測(cè)試)
1、10A 量程僅支持脈沖模式, 精度為典型值
電壓表指標(biāo)
電壓測(cè)量精度
量程顯示分辨率精度(1 年) ±(% 讀數(shù)+偏置)
±200 V100 μV0.02% + 30 mV
±20 V10 μV0.02% + 2 mV
±6 V1 μV0.02% + 500 μV
±200 mV100 nV0.02% + 120 μV
溫度系數(shù)±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
電流表指標(biāo)
電流測(cè)量精度
量程顯示分辨率精度(1 年) ±(% 讀數(shù)+偏置)
±10 A110 μA0.4% + 25 mA
±3 A10 μA0.05% + 2 mA
±1.5 A1 μA0.02% + 500 μA
±150 mA100 nA0.02% + 25 μA
±15 mA10 nA0.02% + 6 μA
±1.5 mA1 nA0.02% + 250 nA
±150 μA100 pA0.02% + 25 nA
±15 μA10 pA0.02% + 3 nA
±1.5 μA21 pA0.03% + 450 pA
±150 nA2100 fA0.05% + 250 pA
溫度系數(shù)±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
1、10A量程僅支持脈沖模式,精度為典型值
2、小電流測(cè)量,建議使用三同軸線纜連接:ForceHi接芯線,Guard接內(nèi)屏蔽層,外屏蔽層接保護(hù)地,F(xiàn)orceLo接芯線,內(nèi)屏蔽層不接,外屏蔽層接保護(hù)地,同軸線的額定絕緣電壓不小于250V。
電阻表指標(biāo)(4 線)
電阻測(cè)量精度
量程顯示分辨率默認(rèn)測(cè)量電流典型精度(1 年)
±(% 讀數(shù)+偏置)
1 Ω1 μΩ1.5 A0.073% +0.3334 mΩ
10 Ω10 μΩ150 mA0.057% + 3.334 mΩ
100 Ω100 μΩ15 mA0.08% + 33.34 mΩ
1 kΩ1 mΩ1.5 mA0.057% + 333. 4 mΩ
10 kΩ10 mΩ150 μA0.057% + 3.334 Ω
100 kΩ100 mΩ15 μA0.06% + 33.34 Ω
1 MΩ1 Ω1.5 μA0.06% + 333.4 Ω
10 MΩ10 Ω0.15 μA0.35% + 3.334 kΩ
100 MΩ100 Ω0.05 μA0.95% + 10 kΩ
溫度系數(shù)±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
手動(dòng)電流源電阻測(cè)量(四線)總體誤差=測(cè)量電壓/電流源設(shè)定電流=電阻讀數(shù)x(電壓源量程的增益誤差百分比+電流表量程的增益誤差百分比+電流源量程偏置誤差/設(shè)定電流)+(電壓源量程偏置誤差/設(shè)定電流值) 示例:電流源設(shè)定電流=1.5A 電壓測(cè)量量程=6V 總體誤差=(0.02%+0.02%+500μA/1.5A)+(500μV/1.5A) 0.073%+0.3334mΩ
脈沖源指標(biāo)(4線)
最小可編程脈寬100 μs
脈寬編程分辨率1 μs
脈寬編程精度±10 μs
脈寬抖動(dòng)2 μs
脈沖寬度定義如下圖所示,從 10 % 前沿到 90 % 后沿的時(shí)間
脈沖技術(shù)指標(biāo)最大電流限制最大脈沖寬度最大占空比
10.15 A/200 VDC,無限制100%
21.5 A/20 VDC,無限制100%
33 A/6 VDC,無限制100%
43 A/20 V1 ms10%
510 A/6 V1 ms10%
脈沖源上升時(shí)間(4 線)
輸出量程典型上升時(shí)間 1,3典型穩(wěn)定時(shí)間 2,3測(cè)試負(fù)載
電壓源
200 V600 μs1.5 ms空載
20 V200 μs360 μs空載
6 V160 μs300 μs空載
電流源
10 A140 μs320 μs滿載
3 A120 μs280 μs滿載
1.5 A120 μs280 μs滿載
150 mA120 μs280 μs滿載
15 mA120 μS280 μs滿載
1.5 mA120 μS280 μs滿載
1, 脈沖前沿從 10%到 90% 所需的時(shí)間。
2, 脈沖達(dá)到距離最終值 1%的所需的時(shí)間。
3, 電流源測(cè)試基于 6V 電壓量程下測(cè)試,105%滿量程鉗位設(shè)定。
I-V 輸出能力
輸出建立時(shí)間
輸出
量程
典型輸出建立時(shí)間
測(cè)試條件
Fast 1,2Normal 1Slow1
電壓源
200 V<1.3 ms<1.5 ms<2.5 ms
在開路負(fù)載條件下,達(dá)到距離最終值 0.1% 以內(nèi)所需的時(shí)間。
步進(jìn)是范圍 10% 至90%。
20 V<300 μs<360 μs<1 ms
6 V<150 μs<250 μs<1 ms
200 mV<200 μs<250 μs<1 ms
電流源
3 A<200 μs<280 μs<1.2 ms
滿載條件下,達(dá)到距離最終值0.1%以內(nèi)(對(duì)于3A范圍,為0.3%)所需的時(shí)間。
步進(jìn)是范圍的10%至90%。6V電壓量程,105%滿量程鉗位設(shè)定。
1.5 A<200 μs<280 μs<1.2 ms
150 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms
15 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms
1.5 mA<200 μs<280 μs<1.2 ms
150 μA<250 μs<300 μs<1.2 ms
15 μA<250 μs<1.2 ms<2 ms
1.5 μA<600 μs<1.2 ms<5 ms
150 nA<600 μs<5 ms<12 ms
1、輸出轉(zhuǎn)換速率:Fast,Normal,Slow。
2、Fast 模式在不同的量程或負(fù)載條件下輸出可能會(huì)出現(xiàn)較大過沖,過沖敏感設(shè)備建議用 Slow 模式。